[TFT 제작기]Cleaning, Sputtering, Annealing 공정
TFT(Thin Film Transistor):박 막는 치에놀츄은한 트랜지스터로 소스와 드레인 사이 전류의 흐름을 제어하고 스위칭의 역할을 하는 소자의 일종이다.내가 만든 TFT는 n+기판 위에 1000å의 SiO2가 산화된 1.5*1.5 wafer를 사용하여 후와루송츄은(active layer)에서는 IGZO, S/D는 Al을 증착, Bottom Gate전극에서는 Ag를 사용했다. @의 역할 Gate:후와루송츄은의 전류를 흐르거나 흐르지 않도록 조절 SiO2절 연막:게이트 전극과 후와루송츄은을 분리 Source/Drain:전자를 공급하는 역할 공정을 크게 […]
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